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真空泵是光伏设备的关键部件之一,主要用于建立、改善、维持真空系统。目前真空泵主要用于PERC制程,随着N型电池技术成熟,HJT和TOPCon预期成为未来扩产主力,进而带来新一波真空泵需求。
全球光伏真空泵主要生产企业包括Atlas(收购了英国Edwards,全球龙头)、Pfeiffer Vacuum(德国)、Ebara(日本)、 Kashiyama(日本)等,其中Atlas、Pfeiffer、Ebara为上市公司,国内厂商主要有汉钟精机、中科仪。